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    北航集成电路科学与工程学院电动线性精密导轨等采购公告

    发布日期:2026-10-26

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    1.   采购货物有关信息

    1、采购货物相关信息:

    (1)货物名称:电动线性精密导轨等

    (2)技术指标:

    序号

    货物/服务名称

    详细参数要求

    1

    电动精密线性导轨

    1、导轨行程:≥±150 mm

    2、控制分辨率 ≤0.5 μm

    3、重复定位精度≤±2 μm

    4、最大运行速度 ≥300 mm/s

    5、驱动方式:直线电机

    2

    电动精密线性导轨

    1、导轨行程:≥30 mm

    2、运动方式:垂直方向(多点支撑吸盘)

    3、控制分辨率 ≤0.5 μm

    4、重复定位精度≤±2 μm

    5、最大运行速度 ≥20 mm/s

    6、驱动方式:步进电机

    7、断电时 Z 轴状态:断电即下落

    3

    电动精密转轴

    1、旋转角度:≥±4°

    2、控制分辨率:小于等于0.00002°

    3、驱动方式:伺服电机

    4

    晶圆载盘

    1、温度范围:常温;

    2、平面度≤15 μm

    3、加载力:≥150 kg

    5

    清洁模块

    1.配置电机驱动探针清洁模块

    2

    售后服务


    售后服务

    1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

    2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应,48小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。

    3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理,合理收取维修费。

    4、质保期1年。



    (3)数量:

    序号

    产品

    数量/单位

    1

    电动精密线性导轨

    2套

    2

    电动精密线性导轨

    1套

    3

    电动精密转轴

    1套

    4

    晶圆载盘

    1套

    5

    清洁模块

    1套

    (4)交货期:合同签订后2个月内

    (5)交货地点:北京航空航天大学集成电路科学与工程学院

    (6)是否接受进口产品:是

    2、采购预算(最高限价):48.5万

    3、参选单位资格要求:

    (1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

    (2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;  

        ① 具有独立承担民事责任的能力;

        ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

        ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

    (3)本项目不接受联合体响应;

    (4)本项目不允许转包、分包;

    (5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

    (6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

    4、报名方式及截止时间:

    报名方式:将报名信息(项目名称、公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间:2026年10月29日17时。

    5、竞价会时间及方式:

    时间:2026年10月30日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

    6、参加竞价会所需提供材料:

    10月30日9:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章,报价需单独密封)邮寄至以下地址:

    地址:北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆

    柳洋 老师收,手机号:18701363677

    7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

    柳洋 老师,手机号:18701363677


    8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

    邵老师,bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)


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